【48812】中国电科发布第三代半导体要害制作配备

时间: 2024-06-22 22:03:39 |   作者: 家居及玩具

  记者18日从中国电子科技集团有限公司得悉，在日前举办的中国世界半导体设备与资料展上，该集团旗下电科配备成功发布立式LPCVD（低压化学气相淀积）设备。作为第三代半导体要害制作配备，其将为我国在第三代半导体范畴快速并赶超世界领先水平供给坚实保证。

  第三代半导体是5G通讯、新能源轿车、数据中心等工业的柱石，第三代半导体制作配备是工业链的薄弱环节。此次发布碳化硅用立式LPCVD设备，标志着电科配备在第三代半导体具有部分成套才能。据悉，该设备霸占了高洁净度环境获得、高安稳压力操控、高精度温度操控等许多技能难题，成功填补国内空白，并获得国内有名的公司的订单。

  作为国内最早研发第三代半导体碳化硅设备的单位，电科配备自2017年起连续推出并一直在优化碳化硅高温离子注入机、碳化硅高温退火炉、碳化硅高温氧化炉等配备。下一步该企业将加快打破要害核心技能，推进设备占据价值链高端，全力支撑我国第三代半导体工业链供应链安全。

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